冷壁CVD生長設備是常州國成新材料科技有限公司針對現有石英管式爐CVD生長設備功耗大、控制性差、產量低等缺點開發出來的一款新型CVD生長設備。該設備不僅可以用于石墨烯生長,還可用于六角氮化硼等二維材料薄膜、MBE薄膜及復合薄膜生長。
同時該設備也適合用于材料在高真空中的退火,加熱溫度~1000°C。
● 程序控制, 實驗重復性高
● 背景氣壓低,雜質氣體干擾少
● 快速降溫機構,樣品溫度5秒從1000 C降到800 C
● 可擴展性強,可在設備技術.上添加特有功能,如原位金屬電極蒸鍍、摻雜等
● 能耗低、產量高、成本低,適用于工業化生產(大型冷壁CVD )
△ 可定制功能:
● 添加熱蒸鍍、熱處理、金屬摻雜等功能
● 其他分析設備的互聯,如角分辨光電子能譜、低能電子衍射、俄歇電子譜、X射線光電子能譜等
● 傳樣機構
化學氣相沉積/真空退火(CVD/Vacuum annealing)
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