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簡單經(jīng)濟(jì)的小型MBE設(shè)備,針對對本底真空需求不高的應(yīng)用場景,可以快速的進(jìn)出樣品。適合分子蒸鍍和簡單的熱蒸發(fā)。和熱蒸發(fā)設(shè)備相比,其具有薄膜厚度控制更,蒸發(fā)源溫度對襯底影響低,實驗重復(fù)性好等特點。設(shè)備所有技術(shù)兼容超高真空需求,后期可以方便升級至超高真空MBE系統(tǒng)。

△ 可定制功能:

● 腔體結(jié)構(gòu)、傳樣機(jī)構(gòu)、泵組及其品牌型號

● 樣品尺寸及其加熱方式

蒸發(fā)源口徑、溫度、加熱方式和數(shù)量

● 可擴(kuò)展反射式高能電子衍射儀、紅外測溫儀、膜厚儀等

● 程序控制功能

● 腔體可做無磁處理


簡易分子束外延生長系統(tǒng)(Easy MBE)