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通過程序方式控制MBE系統中的蒸發源和樣品溫度,shutter開關;記錄真空、溫度等實驗數據。

● 可控制溫度、氣體流量、電機,讀取溫度和真空計

● 支持實驗配方的編輯、預覽、導入和導出

● 可對單獨蒸發源進行控制,或對系統所有蒸發源進行控制

● 可針對不同蒸發源設定參數

● 數據庫管理實驗數據,可導出為通用格式

● 自動保存實驗數據,防止斷電后數據的丟失



分子束外延生長程控系統(MBE Controller)