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真空轉移腔(UHV Transfer Suitcase)

●用于超高真空系統之間,甚至研究機構之間樣品的轉移

●腔體內為超高真空系統,保證樣品的清潔

●利用離子泵或者吸氣劑泵保持真空

●可在無電源的情況下保持真空數小時

●定制樣品傳送機構

● 總體兼容超高真空環境,烘烤溫度130°C

●本底真空2 x 10-10 mbar


真空轉移腔(UHV Transfer Suitcase)