蒸發鍍膜是一種常用的薄膜制備技術,使用蒸發源將材料加熱至蒸發溫度,然后通過蒸發的材料沉積在基材表面形成薄膜。以下是幾種常見的蒸發源類型:
電子束蒸發源:利用電子束將材料加熱至蒸發溫度,然后蒸發在基材上。電子束蒸發源具有高溫度和高速度的優勢,適用于多種材料的蒸發。
熱阻蒸發源:通過通電使蒸發源中的阻焊絲加熱,將材料蒸發在基材上。熱阻蒸發源適用于多種材料,且操作相對簡單。
濺射蒸發源:結合了濺射和蒸發的特點。利用離子轟擊的方式將材料蒸發在基材上。濺射蒸發源適用于多種材料,且能夠實現更高的薄膜均勻性和復雜的形狀。
氣體傳輸蒸發源:通過將材料置于高溫的蒸發船中,利用氣體載體將材料蒸發沉積在基材上。氣體傳輸蒸發源適用于高熔點材料或對材料要求較高的應用。
這些蒸發源的選擇取決于所需薄膜材料、薄膜性質要求、設備和工藝參數等因素。不同的蒸發源在材料選擇、蒸發速率、均勻性等方面可能有不同的優劣勢。
上一篇:MBE分子束外延技術相關介紹